Каких материалов полупроводники сделаны из? Молибден брызгая цели для полупроводников

Сегодня, брызгающ цели использованы в большом разнообразии применений выстраивая в ряд от индустрии полупроводника к низложению тонкого фильма различных материалов в обработке интегральной схемаы. Брызгать установленный метод для депозировать тонкие фильмы разнообразие материалов на субстраты различных форм и размеров. Для того чтобы получить пожеланные свойства внутри брызгайте депозированные фильмы, материалы изготовления и процессы используемые для того чтобы изготовить для того чтобы брызгать цель критические. Ниже мы взглянем на молибдене брызгая цели для полупроводников.

В дополнение к чистым целям металла как вольфрам, молибден, ниобий, титан, и кремний, также цели сплава как вольфрам, молибден, титан, кремний, и тантал, так же, как смеси как окиси или нитриды. Процесс определять материал как важен как параметры низложения работая что инженеры и ученые идеальные во время покрывая процесса.

Сравненный с другими методами низложения, брызганный фильм имеет лучшее прилипание на субстрате, и материалы с весьма высокими точками плавления как молибден и вольфрам также легко брызганы. Также, брызгать можно сделать сверху донизу, пока испарение можно только сделать снизу вверх.

Брызгающ цели типично круглы или прямоугольны, но другие формы также доступны, включая квадратные и триангулярные дизайны. Субстрат объект, который нужно покрыть, который может включить вафли полупроводника, фотоэлементы, оптически элементы или много других возможностей. Толщина покрытия типично в границах ангстромов к микронам. Мембрана может быть одиночным материалом или множественными материалами в разнослоистой структуре.

Как тугоплавкий металл с широким диапазоном польз, молибден имеет превосходные механические свойства, низкое расширение, высокую термальную проводимость и весьма высокую электрическую проводимость в условиях высоких температур. Как цель брызгать, различные комбинации, как чистая цель молибдена, цель титана молибдена, цель тантала молибдена, цель сплава молибдена (как плита TZM).

Молибден брызгая цель имеет характеристики зерен особой чистоты, высокой плотности, штрафа и формы, для того чтобы получить весьма высокую эффективность брызгать, равномерную толщину фильма и ровную вытравляя поверхность во время процесса брызгать.